PEO系列除了有節省空間的優點之外還有在待機的情況下周圍環境零能耗的特點。設備技術特點之處在于:使用方便更換的嵌套管即可實現同一臺設備上不同工藝的切換,且相互之間無交叉污染。為了達到具佳的溫度均勻性,ATV采用了14個Kanthal加熱元件,它們分別位于石英管的周圍,前端和后端,并且都由PID獨立控制。ATV豐富的經驗和專業的工藝知識突出了我們為半導體和微電子行業提供性能具佳的設備和服務的理念。
我們的研發團隊和售后團隊致力于幫助我們的用戶從對ATV設備的投資中獲得良好的回報。

PE0-604 
設備技術參數

• 外形尺寸： 800 x 1900 x 1400mm (長x寬x高） [>重蛋： 475 Kg 
• 石英管直徑230mm(9")
• 標準產品溫度： 1,000°C/1, 100°
• 等溫區： 50片晶圓。
• 電源： 3Phases, 230/400V, 32/63A, 21/42 KW
• 一般應用
• CVD, PVD, LPCVD, MOCVD [> Si3凡Poly Si 
•  Si Ep i taxy 
• TEOS,LTO 
• 碳納米管， 硅納米線， 石墨烯 
• 氣體／固體源擴散
• 濕法／干法氧化
• VCSEL氧化工藝
• Trans LC 
• SiAI/SiAu/SiMo合金化處理
• 退火：惰性氣體
• 聚酰亞胺， 固化/烘烤 
• LTCC燒結， 厚膜燒結